高分辨场发射透射电子显微镜

日期:2020-06-15人气:148

型号:Talos F200S G2                 品牌:美国FEI公司

启用日期:  2020.01                   原值:794.37822 万元

存放地:402地下室2122           管理员:刘春梦

 

功能介绍:

主要用于各种材料的快速高分辨成像和化学分析。

 

技术参数:

1、热场发射电子枪:亮度:≥ 4x108 A/cm2 srad,束斑漂移:≤ 1 nm/10 min;加速电压:20 kV-200 kV,稳定度:≤ 1 ppm/10 min,加速电压连续可调且全程范围内切换通过软件完成。

 

2TEMSTEM能力:TEM放大倍率范围:25x – 1,050,000x,信息分辨率≤ 0.12 nm,线分辨率≤ 0.1 nmSTEM放大倍数范围:300x – 2.30Mx,分辨率:0.16 nmHRTEMHRSTEM之间切换后稳定时间小于30秒钟;高角环形暗场探头(HAADF),明场和暗场探头(BF/DF),能够同时采集和显示来自不同角度的电子信号成像;全自动光阑系统,物镜极靴>5 mm,最大程度保证样品杆高角度倾转;最小束斑尺寸:平行光照明模式:≤ 1.2 nm,汇聚束照明模式:≤ 0.5 nm

 

3、样品台:五轴计算机控制样品台,可存储和复位5 (x, y, z, a, b) 坐标;样品移动范围:X, Y≥ 2 mm,最小移动步长< 4 nm Z≥ 0.75 mm;样品台最大倾斜角度:± 90°;样品台漂移(使用标准样品杆)0.5 nm/min;配有单倾斜样品杆和双倾样品杆各1根。

 

4超级能谱仪 (EDS) 技术规格:无窗设计,快门保护的超级能谱,探头数量≥ 2;最大输入计数率:≥ 140 Kcps;快速 EDS Mapping 图像素驻留时间低至 10 μs;可进行快速点、线、面扫描等分析;极靴内EDS设计,单个能谱面积≤ 30mm2,保护极靴,降低背底干扰。

 

5、数字化成像系统规格:同轴、底装CMOS相机;相机分辨率16M像素,14 µm像素尺寸,可采集大面积图像然后数字放大来获得感兴趣位置的高放大倍率TEM/STEM图像,同时具有大的动态范围可以满足拍摄衍射花样以及高的读取速度来适合拍摄动态录像。

 

6、真空系统:由完全无油真空系统由机械泵、涡轮分子泵和离子泵等构成;样品室真空度:< 1 x 10-5 Pa,电子枪真空度:< 5 x 10-7 Pa;换样时间少于60秒。

 

设备使用说明及送样要求:

需有人员携带样品前来进行检测,进行操作培训后使用仪器,样品需符合实验室安全要求。特殊要求可联系仪器管理员沟通。


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